Biblioteka Cyfrowa
Opis wydania
TSSOI as an efficient tool for diagnostics of SOI technology in Institute of Electron Technology, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1
-
-
Opis :
This paper reports a test structure for characterization of a new technology combining a standard CMOS process with pixel detector manufacturing technique. These processes are combined on a single thick-_lm SOI wafer. Preliminary results of the measurements performed on both MOS SOI transistors and dedicated SOI test structures are described in detail.
Zaproponuj słowa kluczowe, które Twoim zdaniem dobrze opisują to wydanie
Po zalogowaniu będziesz mógł zaproponować nowe słowa kluczowe dla tego wydania. Zaloguj się!